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BOC247a
Issue Date: 16th August 2005
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El Nuevo sistema de Deposición ofrece un incremento de productividad y flexibilidad para los procesos de deposición de capas finas.
BOC
Edwards ha introducido una nueva edición en el rango
de sistemas de deposición para capas delgadas en vacío.
El TF600 combina una cámara de 600 mm con alta capacidad
y sistemas de bombeo seco. El nuevo sistema está diseñado
para incrementar la productividad y flexibilidad de los responsables
de investigación, desarrollo y producción de
obleas usadas en la industria de semiconductores, láser
y científico.
El TF600 tiene varias novedades en el diseño tales
como la colocación de la bomba de alto vacío
en la parte posterior de la cámara, para proporcionar
un bombeo más rápido. Las opciones del sistema
de bombeo incluyen bombas difusoras, bombas criogénicas,
además de la gama de BOC Edwards Maglev y las bombas
turbomolecular convencionales. Las opciones en el bombeo primario
incluyen bombas secas BOC Edwards XDS 35i .
Cada sistema TF600 es construido según las especificaciones
especificas de cada cliente. Las opciones incluyen evaporación
térmica, cañón de electrones, Sputtering
DC, RF Pulsado DC. Con una gran variedad de cámaras,
precámaras y múltiples configuraciones de fuentes.
El TF 600 permite utlizar una gran variedad de aplicaciones
y técnicas tales como Lift off y deposición
asistidad por iones.
El TF600 se viene a sumar a la gama de sistemas de Deposición
de Capas finas que incluye sistemas de de cañones de
electrones de Temascal. Dentro de la gama se encuentran el
Auto 306 y el versátil Auto 500, que ofrece novedades
en cuanto a cámaras y a técnicas de deposición.
For further information contact
Andrew Davis, BOC Edwards. Manor Royal, Crawley, RH10
9LW
Tel: 01293 603134 Fax: 01293 534149
email: andrewdavis@edwards.boc.com
Website: http://www.edwards.boc.com